百级电子净化车间
百级净化车间的气流方法是层流方法,空气以均匀的断面速度沿平行流线活动,与流体力学的层流概念不太相同,具体讲就是笔直层流侧回风。和百级以上净化车间所选用的混流或乱流方法(即空气以不均匀的速度呈不平行流线活动)相比较,它具有作用完全、作业活络安稳、粉尘堆集与再飘浮很少,以及处理简略等利益,但是设备造价非常高,维护费用也很高。
洁净度:粒径大于等于0.5微米的最大微粒数不能大于100个。 压差及温湿度:温度22℃±2;湿度55%±5;根柢需求满布ffu,做高架地板。做MAU+ffu+DC体系。还有坚持正压,相邻房间压力梯度保证在10pa左右。 |